晶圆电镀是芯片互连、凸块镀层制备的核心湿法工序，镀液温度的稳定性直接影响镀层均匀度、致密性及产品良率。传统电加热、燃气锅炉供热方式，存在能耗偏高、温控波动大、洁净度不足等问题，难以适配高端集成电路精细化生产要求。复叠高温热泵可稳定提供85℃高温热水，现已成为集成电路电镀线供热系统升级的主流方案，可兼顾工艺品质、生产成本与绿色生产需求。
集成电路电镀对热源有着严格的双重要求：一是工艺温度需求，金电镀、化学镀镍等工序需70-85℃循环热水完成槽液换热；二是恒温精度要求，温度波动超出±1℃，易出现镀层厚薄不均、附着力不足等质量问题，增加生产损耗。传统电加热能效比偏低，运行能耗成本高；燃气锅炉控温响应滞后，燃烧过程易产生杂质，难以满足半导体洁净车间标准，且需要专人值守，运维与环保压力较大。
温控方面，设备搭载PLC智能联动控制系统，可对接多条全自动电镀产线，根据镀槽实时温度动态调节机组运行负载，稳定控制供水温度精度，改善传统设备温度骤变问题，保障晶圆电镀工艺一致性，降低产品报废率。机组支持模块化并联扩容，产线扩建无需整体更换设备，可按需匹配供热负荷，适配不同规模的晶圆制造与封装产线。
当前集成电路行业节能降本、绿色升级趋势明显，电镀作为高能耗湿法工序，热源升级是提质降碳的关键环节。复叠高温热泵可稳定满足电镀工序高温、高精度的工艺标准，实现节能降耗，替代传统高能耗供热设备，是兼顾生产品质、运营成本与环保合规的一体化供热解决方案，适用于半导体表面处理、晶圆电镀、芯片封装等各类产线配套使用。
